デバイス >
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アールデック (R-DEC) |
| 型番 | RDEB-1206K |
| 設備名称 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] |
| 装置スペック | ・用途：リフトオフ向け金属薄膜形成 ・蒸着方式：電子銃型×1式 ・ターゲット：12連式（Ti, Cr, Al, Ni, Cu, Pt, Au×2, Pd, Ag, MgO, Co, Fe, AuGe, Ge, 他） ・到達真空度：1.0e-5 Pa ・TS間距離：500mm ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：水冷式試料ステージ |
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