デバイス >
原子層堆積装置 [AD-230LP]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ (Samco) |
| 型番 | AD-230LP |
| 設備名称 | 原子層堆積装置 [AD-230LP] |
| 装置スペック | ・用途：多種ALD薄膜形成装置 ・仕様成膜方式：サーマルまたはプラズマALD ・原料：TMA, TDMAT, BDEAS, 他 ・酸化剤：H2O, O3, O2プラズマ ・窒化剤：N2プラズマ, NH3プラズマ ・試料サイズ：最大φ8インチ ・その他：ロードロック式 |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。