デバイス >
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | カナメックス (KANAMEX) |
| 型番 | KLO-150CBU |
| 設備名称 | リフトオフ装置 [KLO-150CBU] |
| 装置スペック | ・用途：リフトオフ、レジスト剥離 ・レジスト膨潤：80℃ NMP溶液 ・レジスト剥離：高圧ジェットNMP溶液 ・リンス：IPA, 純水 ・乾燥：スピン乾燥、N2ブロー ・最大試料サイズ：φ6inch |
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