デバイス >
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | MUC-21 ASE-SRE |
| 設備名称 | シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] |
| 装置スペック | ・用途：MEMS等，シリコン深掘エッチング ・プラズマ励起方式：誘導結合型 ・電源出力：ICP出力：最大1kW／バイアス出力：最大100W ・プロセスガス：SF6，C4F8，Ar，O2 ・試料ステージ温度：室温 ・最大試料サイズ：φ6inch |
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