FE-SEM [S-4800]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S-4800 |
| 設備名称 | FE-SEM [S-4800] |
| 装置スペック | ・用途：ナノ加工・構造・材料の観察・計測 ・電子銃：ZrO/W 電界放射型 ・加速電圧：0.1-30kV ・2次電子像分解能：1.0nm （ノーマル：15kV），1.4nm （リターディング：1.0kV） ・試料ステージ：5軸モーター駆動 ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：各種試料ホルダー装備 |
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