その他分析装置 >
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | フィルメトリクス株式会社 (FILMETRICS) |
| 型番 | F54-XY-200-UV |
| 設備名称 | 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] |
| 装置スペック | ・用途：反射分光膜厚測定 ・光源：重水素ハロゲンランプ ・波長：190-1100nm ・スポット径：10 μm以下 ・測定膜厚範囲：5nm以下～30μm ・最大試料サイズ：φ8inch ・その他：自動マッピング、顕微式 |
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