設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | その他分析装置 > |
製造元 | ブルカージャパン (Bruker) |
型番 | Dektak XT-A |
設備名称 | 触針式プロファイラー [Dektak XT-A] |
装置スペック | ・用途:段差測定 ・分解能:1?(6.5umレンジ) ・走査距離:55mm ・触圧範囲:0.03-15mg ・最大試料サイズ:φ8inch ・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定 |
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