その他分析装置 >
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | 東朋テクノロジー (Toho Technology) |
| 型番 | FLX-2000-A |
| 設備名称 | 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] |
| 装置スペック | ・用途：薄膜応力測定 ・測定方式：レーザースキャン方式（670nm＆750nm半導体レーザー） ・測定範囲：1～4000MPa ・測定再現性：1.3MPa（1σ） ・試料サイズ：φ3inch, φ6inch, φ8inch ・その他：3Dマッピング機能 |
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