デバイス >
ダイシングソー [DAD322]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ディスコ (DISCO) |
| 型番 | DAD322 |
| 設備名称 | ダイシングソー [DAD322] |
| 装置スペック | ・用途：各種基板の小片化 ・切削刃：ダイヤモンドブレード ・切削範囲：XY：162mm以下 ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：オート／セミオート／マニュアルアライメント機能 ・その他：3Dマッピング機能 |
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