設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies) |
型番 | MX-200/B,B1500A |
設備名称 | 室温プローバー [MX-200/B] |
装置スペック | ・用途:I-V/C-V特性評価 ・プローブ:同軸プローブ ・マニピュレータ:4基 ・I-V測定端子:4ユニット ・C-V測定端子:1ユニット ・最大試料サイズ:φ4inch ・その他:試料ステージ電圧印加可,除振台/シールドボックス装備 |
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