設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | エリオニクス |
型番 | ELS-BODEN100 |
設備名称 | 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] |
装置スペック | 【遠隔利用可】 加速電圧:100kV 電流値:100pA~20nA フィールドサイズ:100, 250, 500, 1000mm(デフォルト) 最小ドットピッチ:0.2nm 最小ショットタイム:10 nsec/dot(分解能:0.1nsec) フィールドつなぎ精度:(30nm以下) 重ね合わせ精度:(35nm以下) 最大試料サイズ:~8インチΦ 対応CADフォーマット:GDSII, DXF、他 画像検出器:SE、BSE 自動/手動アライメント機能 |
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