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電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | エリオニクス |
| 型番 | ELS-BODEN100 |
| 設備名称 | 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] |
| 装置スペック | 【遠隔利用可】 加速電圧：100kV 電流値：100pA~20nA フィールドサイズ：100, 250, 500, 1000mm（デフォルト） 最小ドットピッチ：0.2nm 最小ショットタイム：10 nsec/dot（分解能：0.1nsec） フィールドつなぎ精度：(30nm以下) 重ね合わせ精度：(35nm以下) 最大試料サイズ：～8インチΦ 対応CADフォーマット：GDSII, DXF、他 画像検出器：SE、BSE 自動／手動アライメント機能 |
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