デバイス >
マスクレス露光装置 [DL-1000]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ナノシステムソリューションズ |
| 型番 | DL-1000 |
| 設備名称 | マスクレス露光装置 [DL-1000] |
| 装置スペック | ・露光方式：DMD ・露光モード：ステップ＆リピート描画 ・光源 405nm半導体レーザー（h線） ・照度 300mW/cm2 ・位置決め精度 ±1um以下 ・重ね合わせ精度 ±1um以下 ・試料サイズ 最大4インチ角 |
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