デバイス >
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 芝浦メカトロニクス |
| 型番 | CFS-4EP-LL |
| 設備名称 | スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] |
| 装置スペック | ・電源：DC×２、RF×１ ・電源出力：500W ・カソード：φ3インチ×4式（強磁性用１） ・基板サイズ：最大6inchφ ・プロセスガス：Ar、O2、N2 ・基板加熱：設定300℃ ・逆スパッタ可 |
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