デバイス >
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | エイコー・エンジニアリング |
| 型番 | MB-501010 |
| 設備名称 | 電子銃型蒸着装置 [MB-501010] |
| 装置スペック | ・電子ビーム加速電圧：10kV ・最大エミッション：500mA ・蒸発源：材料ハース10cc×10個 ・到達真空度：10-5 Pa ・T-S距離：700mm ・基板サイズ：最大φ6インチ |
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