FE-SEM+EDX [SU8230]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク |
| 型番 | SU8230 |
| 設備名称 | FE-SEM+EDX [SU8230] |
| 装置スペック | ・加速電圧: 0.5～30kV , ・最大倍率:1,000k ・検出器:SE/BSE ・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV) ・最大試料サイズ：6インチ ・付加機能：EDX |
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