設置機関 | 物質・材料研究機構 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
製造元 | キーエンス |
型番 | VK-9700 |
設備名称 | レーザー顕微鏡 [VK-9700] |
装置スペック | 光源:408 nmバイオレットレーザー 対物レンズ倍率;10x, 20x, 50x, 150x 最大試料サイズ:φ4インチ 測定項目: Surface roughness, Height, Thickness of transparent film |
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