デバイス >
電子ビーム描画装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JBX-8100FS |
| 設備名称 | 電子ビーム描画装置 |
| 装置スペック | 1. 最高加速電圧200kV 2. クロック周波数125MHz 3. 12カセット自動搬送 4. 最大8インチウェハ対応 |
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