デバイス >
電子銃型蒸着装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アールデック |
| 型番 | ADS-E810 |
| 設備名称 | 電子銃型蒸着装置 |
| 装置スペック | ・蒸着方式：電子銃型 ・ターゲット：Al, Ti, Ni, AuGe, Pt, Au, Pd, Ag, Cr, 他 ・到達真空度：10-5 Pa ・ＴＳ間距離：500 mm ・最大試料サイズ：φ8inch ・その他：ロードロック式、水冷式試料ステージ |
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