デバイス >
ICP-RIE装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ |
| 型番 | RIE-800iPB |
| 設備名称 | ICP-RIE装置 |
| 装置スペック | ウェーハサイズ：6 inch ボッシュプロセス対応 加工速度：50μm/min |
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