デバイス >
RIE装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ |
| 型番 | RIE-10N |
| 設備名称 | RIE装置 |
| 装置スペック | シリコン系エッチング 対応基板サイズ：最大8インチ プロセスガス：CF4,O2 |
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