集束イオン研磨装置（FIB）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ株式会社 |
| 型番 | FB-2100 |
| 設備名称 | 集束イオン研磨装置（FIB） |
| 装置スペック | 集束したGa イオンを試料に照射し試料を薄膜化 |
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