収束イオンビーム加工装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 工学研究科 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | セイコーインスツル株式会社 |
| 型番 | SMI2050 |
| 設備名称 | 収束イオンビーム加工装置 |
| 装置スペック | サンプルサイズ：Φ50 mm，t12 mm 加速電圧：30 kV 観察分解能：5 nm @ 30 kV タングステン堆積可能 |
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