デバイス >
ECR-SIMSエッチング装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ECRイオンガン：入江工研社製 SIMS検出器：PFEIFFER社製 |
| 型番 | ECRイオンガン：RGB-114 SIMS検出器：EDP400 |
| 設備名称 | ECR-SIMSエッチング装置 |
| 装置スペック | マイクロ波入力150 W，加速電圧600 V，イオン照射径30mm 分析質量1-512 amu 試料角度調整，回転機構付き |
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