原子間力顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 工学研究科 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ |
| 型番 | AFM5100N/AFM5000II |
| 設備名称 | 原子間力顕微鏡 |
| 装置スペック | 検出系：光てこ方式、測定モード：AFM/DFM/PM/FFM、分解能：垂直0.01nm～/面内0.2nm～、走査範囲：面内20μm/垂直1.5μm、最大試料サイズ：φ35mm/厚さ10mm、環境：大気 |
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