デバイス >
マスクレス露光装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来材料・システム研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ネオアーク |
| 型番 | PALET DDB-701-DL4 |
| 設備名称 | マスクレス露光装置 |
| 装置スペック | 露光領域：100 mm x 100 mm（約4インチ）、最小露光線幅：3μm、光源：365 nm LED、ワークサイズ：最大φ150 mm、厚み10mm、ステージ：電動XYZθステージ、対物レンズ：...[詳細] |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。