その他分析装置 >
段差計 (Surface profiler)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東海国立大学機構・名古屋大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | 小坂研究所 |
| 型番 | ET200A |
| 設備名称 | 段差計 (Surface profiler) |
| 装置スペック | ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ52mm ・再現性 ：1σ 0.3nm以内 ・測定範囲 ：Z：600?m，X：100mm ・分解能 ：Z：0.1nm，X：0.1?m ・測定力：10?N～500?N |
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