精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学官金連携機構 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSPM-5200TM |
| 設備名称 | 精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization) |
| 装置スペック | 分解能：原子分解能。カーボンナノファイバー(CNF)探針によるソフトマテリアル低損傷観察可能。 測定モード：形状、電気特性、磁気特性測定。 |
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