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プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 (Plasma-Gas-Condensation Cluster Deposition Apparatus)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学官金連携機構 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日本ビーテック (Vieetech Japan) |
| 型番 | 特型 |
| 設備名称 | プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 (Plasma-Gas-Condensation Cluster Deposition Apparatus) |
| 装置スペック | クラスターサイズ 直径3～15nm 直流マグネトロンスパッタリング方式 スパッタ電力 最大500W 基板サイズ 最大2cmX2cm |
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