デバイス >
真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学官金連携機構 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | シンク/ MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./ MBRAUN) |
| 型番 | JIS-300AK/ DBO-1KP-0 |
| 設備名称 | 真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment) |
| 装置スペック | ●真空蒸着装置（JIS-300AK） マイカ基板サイズ：15×15mm（標準） マイカ厚み：0.1～0.15mm 金膜厚：100 150nm ●グローブボックス（DBO-1KP-0） Ar下における少量のサンプル調整（合成）が可能、電子天秤あり |
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