デバイス >
特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学官金連携機構 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | 特型 |
| 設備名称 | 特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System) |
| 装置スペック | 基板サイズ：２インチφ程度以下。超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能、組成制御可能、高分子材料の加工可能。 |
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