デバイス >
紫外線露光装置 (Contact Mask Aligner)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | (株)ミカサ (MIKASA CORPORATION) |
| 型番 | MA-10 |
| 設備名称 | 紫外線露光装置 (Contact Mask Aligner) |
| 装置スペック | 不定形試料に対応した実験用マスクアライナ。 ・光源：高圧UVランプ250W（g、h、i線）～10mW/cm2 ・基板サイズ：MAXΦ4（不定形対応） ・マスクサイズ：□5、□2.5 ・基板厚さ：MAX2mm |
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