設置機関 | 京都大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | (株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.) |
型番 | KD-150CBU |
設備名称 | レジスト現像装置 (Photoresist Developer) |
装置スペック | 汎用的な枚葉式アルカリ現像装置。 ・基板サイズ:Φ2~Φ6、□2.5、□5、不定形 ・現像液:アルカリ(TMAH 2.38%) ・現像方式:スプレー、パドル ・対応レジスト:UVレジスト、EBレジスト(NEB22)ほか |
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