デバイス >
高速マスクレス露光装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ナノシステムソリューションズ |
| 型番 | D-light DL-1000GS/KCH |
| 設備名称 | 高速マスクレス露光装置 |
| 装置スペック | グレースケール露光機能を備えたDMD方式の高速マスクレス露光装置。 ・光源：h線LED（405nm）>1W/cm2 ・基板サイズ：MAXΦ6インチ ・最小画素:１?m ・グレースケール露光機能（最大256階調） ・厚膜レジスト対応（>100?m以上） |
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