デバイス >
熱酸化炉 (Thermal Oxidation Furnace)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 光洋サーモシステム(株) (Koyo Thermo Systems Co., Ltd.) |
| 型番 | MT-8X28-A |
| 設備名称 | 熱酸化炉 (Thermal Oxidation Furnace) |
| 装置スペック | ドライまたはウェット状態でウエハの高温加熱が可能（常用最高温度1,050℃） ・基板サイズ：MAXΦ6×25枚/バッチ ・常用最高温度：1,050℃ ・雰囲気：N2、O2（乾燥または湿潤状態） |
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