デバイス >
紫外線照射装置 (UV Curing System)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | (株)テクノビジョン (Technovision, Inc.) |
| 型番 | LED-4082 |
| 設備名称 | 紫外線照射装置 (UV Curing System) |
| 装置スペック | LEDを光源として特定波長の紫外線を照射することにより、UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高めることを目的とした装置 ・UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高める装置 ・基板サイズ Wafer Φ6以下 |
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