デバイス >
赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | (株)モリテックス (MORITEX Corporation) |
| 型番 | IRise－T |
| 設備名称 | 赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer) |
| 装置スペック | 赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察）を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。 ・基板 最大Φ8インチウェハー ・画像分解能 0.26μm/画素 ・厚さ分解能 0.01μm以下( 5～150μm ) |
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