デバイス >
UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
| 型番 | UV-300HKU |
| 設備名称 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment) |
| 装置スペック | サムコ株式会社 UV-300HKU UVランプと高濃度オゾナイザを備える Φ8インチウェハ対応 O2、N2ガス ステージ加熱：室温～300℃ |
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