設置機関 | 京都大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | デバイス > |
製造元 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
型番 | AQ-500KU |
設備名称 | 水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner) |
装置スペック | サムコ株式会社 Aqua Plasma クリーナー AQ-500KU 水蒸気(H2O)を用いたプラズマ処理 樹脂接合、金属酸化膜の還元、有機洗浄、超親水性処理 200mm角試料まで対応 |
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