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水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner)
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 京都大学
研究科・学部
設備分類 デバイス >
製造元 サムコ(株) (Samco Inc.)
型番 AQ-500KU
設備名称 水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner)
装置スペック サムコ株式会社 Aqua Plasma クリーナー AQ-500KU 水蒸気(H2O)を用いたプラズマ処理 樹脂接合、金属酸化膜の還元、有機洗浄、超親水性処理 200mm角試料まで対応
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