デバイス >
パリレン成膜装置 (Parylene Coater)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日本パリレン合同会社 (Specialty Coating Systems Inc.) |
| 型番 | LABCOTER PDS-2010 |
| 設備名称 | パリレン成膜装置 (Parylene Coater) |
| 装置スペック | 全面に均一な極薄コーティングが可能であり、微細な隙間中なども均一にカバーする。 ・蒸着室有効内容積：215mm（径）×270mm（高さ） |
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