デバイス >
簡易RIE装置 (Tabletop Reactive Ion Etcher )
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
| 型番 | FA-1 |
| 設備名称 | 簡易RIE装置 (Tabletop Reactive Ion Etcher ) |
| 装置スペック | サムコ社製 FA-1 使用ガス：CF4，O2 チラー付属 |
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