デバイス >
電子線蒸着装置 (2) (Electron Beam Evaporator No.2)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 大阪真空機器製作所 |
| 型番 | OVE-350 |
| 設備名称 | 電子線蒸着装置 (2) (Electron Beam Evaporator No.2) |
| 装置スペック | 実験用電子線蒸着装置。 ・基板サイズ：MAX Φ3"" ・電子銃：2kW3連E型電子銃（1m×3） ・温度：300℃（ハロゲンランプ） |
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