3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
| 製造元 | オリンパス(株) (Olympus Corporation) |
| 型番 | OLS4000-SAT |
| 設備名称 | 3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope) |
| 装置スペック | オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT 平面測定精度 繰り返し性：3σn-1=0.02μm(100X) 正確さ:測定値の±2% 高さ測定精度 繰り返し性：σn-1=0.012μm(50X) 正確さ:0.2+L/100μm以下（L=測定長μm） |
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