設置機関 | 京都大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | X線回折 > |
製造元 | (株)リガク (Rigaku Corporation) |
型番 | SmartLab |
設備名称 | X線回折装置 (Intelligent X-Ray Diffractometer) |
装置スペック | ・試料水平保持方式 薄膜試料に歪み等を与えることなく取り付けることができ、最大サイズ8インチΦの試料の測定、および4インチΦの場合はエリアマップ測定が可能 ・多彩な薄膜評価 組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など ・粉末解析に 定性分析、定量分析、結晶化度評価、結晶子サイズ/格子歪評価、格子定数の精密化、Rietveld解析など ・試料サイズ 最大φ8インチ ・組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価等の測定可能 |
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