分光エリプソメーター (Spectral Ellipsometer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.) |
| 型番 | FE-5000 |
| 設備名称 | 分光エリプソメーター (Spectral Ellipsometer) |
| 装置スペック | ・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定 ・基板（バルク）光学定数（n、k）が直接解析可能 ・角度可変測定により、薄膜のより詳細な解析に対応 ・測定膜厚範囲 1nm～1μm ・測定波長範囲 300nm～800nm ・サンプルサイズ 200mm × 200mm以上 |
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