その他分析装置 >
マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | ポリテックジャパン(株) (Polytec) |
| 型番 | MSA-500-TPM2-20-D |
| 設備名称 | マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer) |
| 装置スペック | MEMSデバイスの動的特性(面外,面内) および表面形状を3次元で測定 ・MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定 |
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