インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他 > 計測装置 |
| 製造元 | アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.) |
| 型番 | 4294A |
| 設備名称 | インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer) |
| 装置スペック | アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A 基本インピーダンス確度 ±0.08% 周波数 40Hz～110MHz 真空プローバ；カスケード・マイクロテック社製 PLV50 チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか チャック温度：-40～+200℃ 真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa |
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