設置機関 | 京都大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | その他 > 計測装置 |
製造元 | (株)アポロウエーブ (APOLLOWAVE Corporation) |
型番 | α150 |
設備名称 | 高周波伝送特性測定装置 (Manual Prober) |
装置スペック | (株)アポロウエーブ社製 α150 チャックサイズ6インチ(室温~300℃) プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm RFプローブキット ネットワークアナライザ 半導体パラメータアナライザ |
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