接触式シート抵抗測定器 (4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他 > 計測装置 |
| 製造元 | ナプソン(株) (NAPSON CORPORATION) |
| 型番 | Cresbox |
| 設備名称 | 接触式シート抵抗測定器 (4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System) |
| 装置スペック | ナプソン株式会社 Cresbox 4探針法、10m~10MG/sq、2~8インチウェハ対応 マッピングソフトウェア |
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